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半導(dǎo)體分析儀
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主要特性與技術(shù)指標(biāo) 測(cè)量功能 在 0.1 fA - 1 A / 0.5 μV - 200 V 范圍內(nèi)執(zhí)行 的電流-電壓(IV)測(cè)量,支持點(diǎn)測(cè)量、掃描測(cè)量、采樣和脈沖測(cè)量 在 1 kHz 5 MHz 頻率范圍內(nèi)執(zhí)行交流電容測(cè)量,支持準(zhǔn)靜態(tài)電容-電壓(QS-CV)測(cè)量的脈沖 IV 測(cè)量和超快 IV 測(cè)量,低采樣間隔為 5 ns(200 MSa/s) 高達(dá) 40 V 的高壓脈勢(shì),適用于非易失存儲(chǔ)
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